特性
■高速
音圈電機模組可以直接將電磁力轉(zhuǎn)換為直線運動，能產(chǎn)生高速運動。
■高精度
全閉環(huán)反饋控制直接驅(qū)動和線性編碼器消除運動損失和背隙，實現(xiàn)高精度。
■高響應(yīng)
通過與運動控制器的結(jié)合，實現(xiàn)了高響應(yīng)。
適用領(lǐng)域
計量、光子學(xué)、半導(dǎo)體、顯示器等制造中的精密掃描